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EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理，結合先進的頻率測量技術，進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。
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TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測厚儀，可快速精-確地測量透明或半透明薄膜的厚度，其測量膜厚范圍為15nm-50um，儀器所發出測試光的波長范圍為400nm-1100nm。此款測試系統理論基礎為鏡面反射率，并且采用光纖反射探頭。儀器尺寸小巧，方便于在實驗室中擺放和使用。
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TM106-LD薄膜測厚儀/層積速率顯示儀的工作原理，是依據所測樣品薄膜厚度的改變而導致石英晶片振蕩頻率改變。將所蒸發材料的密度輸入到測試系統中，便可測量層積薄膜的厚度。此款測厚儀的分辨率為0.037 ?。